1 什么是掃描電子顯微鏡(SEM) Scanning Electron Microscope(SEM)掃描型電子顯微鏡是由真空系統、 高壓電源、高靈敏度增幅器獲取樣品表面圖像的科學儀器。 2 SEM的工作原理
3 SEM與光學顯微鏡相比,SEM的優點有哪些? 比光學顯微鏡多100x的景深; 高倍率和連續變倍(從10倍到4萬倍); 高分辨率(大于20nm)。